KMWE模块化无尘室方案

所选用的产品适合使用洁净气体，并且可设置在无尘室中。Teesing Diaphragm 阀门针对不同应用可以调节栓紧强度 (10^-9 mbar*l/s) ，并针对应用选择客制化接头，且针对不同气体标记不同颜色便于识别。针对超洁净水使用的针阀则选用匹配的材质及适合的密封件。

工艺过程

此项目最初是在新的ISO 6无尘室中，针对气体供应所用的材质提供适合的建议。Teesing与KMWE讨论之后我们决定使用适合于无尘室使用的不锈钢管材搭配Serto接头。为保持超洁净气体的洁净状况并且在组装时达到泄漏测试所需要的紧密强度，我们使用了Diaphram阀门将管线封闭。这些都是针对该应用及所需连接接口提供的客制化的解决方案。